|
2.
Measurement Process Characterization
2.6. Case studies 2.6.2. Check standard for resistivity measurements 2.6.2.2. Analysis and interpretation
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Example | The table below illustrates the computation of repeatability and level-2 standard deviations from measurements on a check standard. The check standard measurements are resistivities at the center of a 100 ohm.cm wafer. There are J = 6 repetitions per day and K = 5 days for this example. | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Table of data, averages, and repeatability standard deviations |
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
